техпроцесса

Научно‑исследовательские институты Зеленограда НИИМЭ и НИИТМ завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ). Об этом сообщили в Группе компаний «Элемент», MOEX:ELMT, куда входят оба зеленоградских предприятия. – Установки позволят выпускать интегральные микросхемы по топологическим нормам 65 нм на пластинах 200 мм и 300 мм. Российские......подробнее➥